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硅片承载器卡具

  • 申请号：CN201310167815.4 申请公布号： CN103346115B
  • 申请日： 2013-05-09 申请公布日： 2016-08-24
  • 申请（专利权）人：北京市塑料研究所 专利代理机构： -
  • 分类号：H01L21/687(2006.01)I

专利介绍

一种硅片承载器卡具,其整体上为U型框架,在U型框架的两个相对的上端内侧,具有矩形凹陷;在U型框架的两个相对的底端具有向U型开口反向延伸的矩形凸起。

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